交換用 SMC 真空ポンプ フィルター エレメント EC900-X30NX0

モデル
*-EL150
*-EL250
*-EL350
*-EL450
*-EL550
*-EL650
*-EL850

流量Nm3/min
0.2
0.75
1.5
2.2
3.5
6
12

ろ過精度

AFF (クラス AFF): 午後 1 時
AM (クラスAM):0.3um
AMD(クラスAMD):0.01um
AME(AME級):0.01um
AMH(クラスAMH):0.01um
AMF(クラスAMF)：0.01um

残油
5ppm
1ppm
0.01ppm
0.01ppm
0.001ppm
0.003ppm

AMG级（クラスAMG）：99%