보충 SMC 진공 펌프 여과기 성분 EC600-005N

모델
*-EL150
*-EL250
*-EL350
*-EL450
*-EL550
*-EL650
*-EL850

유량Nm3/분
0.2
0.75
1.5
2.2
3.5
6
12

여과 정확도

AFF(클래스 AFF): 오후 1시
AM (클래스 AM):0.3um
AMD(AMD 클래스): 0.01um
AME(클래스 AME): 0.01um
AMH(클래스 AMH): 0.01um
AMF(클래스 AMF) :0.01um

잔여 기름
5ppm
1ppm
0.01ppm
0.01ppm
0.001ppm
0.003ppm

AMG级(클래스 AMG): 99%