替换 SMC 真空泵滤芯 EC900-X30NX0

模型
*-EL150
*-EL250
*-EL350
*-EL450
*-EL550
*-EL650
*-EL850

流量Nm3/min
0.2
0.75
1.5
2.2
3.5
6
12

过滤精度

AFF（AFF 类）：下午 1 点
AM（AM级）：0.3um
AMD（AMD级）：0.01um
AME（AME级）：0.01um
AMH（AMH级）：0.01um
AMF（AMF级）：0.01um

残油
5ppm
1ppm
0.01ppm
0.01ppm
0.001ppm
0.003ppm

AMG级（AMG级）：99%